主要特性

·  測量參數：R（直流電阻）、I（直流電流）、ps（表面電阻率），pv（體電阻率）。

·  測量范圍：電阻1*10³Ω 至 1x10¹⁵Ω；電流1pA至100uA。

·  測量速度：*快9.5ms的測量時間。

·  基本測量精度：2%。

·  4個通道，可用于多個被測件，4個通道可同時測試。

·  接觸檢查功能：可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障，2毫秒/點，保證可靠的測試